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仪器设备

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    高分辨冷场发射扫描电子显微镜(Regulus 8230 SEM)

    仪器编号:

    联系方式:18680367989

    放置地点:西湖大学(云谷校区)E10-131

    开放范围:自主测试:校内 送样测试:校内、校外

    自主操作 送样检测

    实验室:

    职位:

    邮箱:caowenjing@westlake.edu.n

    仪器编号 联系方式 18680367989
    放置地点 西湖大学(云谷校区)E10-131 开放范围 自主测试:校内 送样测试:校内、校外
    自主操作 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.411.reserv 送样检测 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.411.sample
    实验室 职位
    邮箱 caowenjing@westlake.edu.n
    • 仪器信息
    • 技术资料
    • 收费标准
    • 预约及送样说明


    仪器编号
    规格
    生产厂家 日立公司 型号 Regulus 8230
    制造国家 日本 分类号
    放置地点 西湖大学(云栖校区)4号楼112-113实验室 出厂日期 2019/09/04
    购置日期 2019/05/24 入网时间 2019/09/04
    主要规格及技术指标 场发射扫描电镜主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统),检测器包括Top(带能量过滤功能)、Upper和Lower三个二次电子探测器,背散射电子检测器,STEM 检测器。样品交换仓配备等离子清洗装置(Plasma XEI),配备牛津无窗能谱仪(Ultim EXTREME)。
    SE分辨率 15KV:0.6nm (工作距离4mm),1KV:0.7nm(工作距离1.5mm,减速模式)
    BSE分辨率 15KV:3nm
    STEM分辨率 30KV:0.8nm,加速电压:0.01 ~ 30kV
    放大倍数:20-2,000,000倍
    电子枪类型:冷场发射电子枪
    探测器:具有Top(带能量过滤功能)、Upper和Lower三个二次电子探测器,顶位探测器可选择接收二次电子像或背散射电子信号,高位探测器可选择接收二次电子或背散射电子信号,并以任意比例混合。在低压下(小于1kV)可以得到背散射电子图像。背散射电子检测器,接受背散射电子信号。STEM 检测器,测试BF/DF/HAADF像
    能谱仪:探测器:无窗型斜插电制冷探测器;能量分辨率:Mn Kα保证优于127eV, 元素分析范围: Be4~Cf98,元素分析下限: Li3

    主要功能及特色 扫描电子显微镜是用于试样的显微形貌观察及微区成分分析的必备手段,其特点是景深长,图像层次丰富,立体感强,样品制作简单,不必作超薄切片。该设备是一台高分辨冷场发射扫描电镜,其分辨率为0.6nm(15kV),配置了SE/BSE/STEM探头,以及牛津的无窗能谱仪,可以进行表面形貌观察,微区成分分析,也可以进行STEM分析,可以得到高分辨成分像。
    主要附件及配置 探测器:Top(带能量过滤功能)、Upper和Lower三个二次电子探测器,背散射电子检测器,STEM 检测器;
    样品交换仓配备等离子清洗装置(Plasma XEI);
    牛津无窗能谱仪(Ultim EXTREME)。

    技术资料:高分辨冷场发射扫描电子显微镜的标准操作流程

    /R012gaofenbianlengchangfashesaomiaodianjingHITACHIRegulus8230biaozhuncaozuoguichengV1.4.pdf






    类型

    项目

    细则

    校内收费

    校外收费

    说明

    自主上机

    自主操作

    需预约并经过培训和考核

    330/

    /

    /

    委托测试

    形貌观察、元素分析

    形貌成像(SE)、BSD成像、CL成像(仅成像)、EDS分析(谱峰、线扫、面扫)

    160/样或480/


    220/样或660/


    1.每个样品限时20min,超出后将按照实际机时收费;

    STEM成像及元素分析

    BFDFHAADF成像(最高电压30kV)、EDS分析(谱峰、线扫、面扫)

    240/样或480/

    330/样或660/

    1.用户自己制样。

    2.每个样品限时30min,超出后将按照实际机时收费;

    镀金

    镀层为Au 5nm

    60/次或6/nm

    100/

    1.SEM镀膜,按次收费;

    2.镀电极,按厚度收费(限校内用户);

    3.不接受单独送样。

    镀铂

    镀层为Pt 3-5nm

    镀碳

    镀层为5nm

    培训

    仪器培训

    一对一/一对二培训;同等内容的第二次培训,收费1.5

    480/

    /

    /


    预约说明:

    (1) 校内使用者须经过技术员的实验操作培训,考核合格后方可上机使用;

    (2) 实验开始时务必在实验记录本上登记,结束时如实记录仪器状态;

    (3)添加预约最早可提前: 2 天

    (4)添加预约最晚可提前: 2 小时

    (5)修改 / 删除预约最晚可提前: 2 小时

    样品说明:

    样品中不得含有铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)。 样品不得具有磁性,并且不易被磁化。 样品中不得含有水分。 样品高度小于15mm,直径小于40mm。 多孔类或易潮解的样品,请提前真空干燥处理。 样品最好具有导电性。若样品不导电,根据实际情况需要进行镀金、碳等导电膜的处理。

    版权所有 © 西湖大学浙ICP备16029590号

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