Language
仪器预约 手机微信
当前位置: 首页>> 仪器设备>> 正文

仪器设备

    设备功能分类-科技支撑

    设备功能分类-科技支撑

    表面分析
    微区分析
    成分分析
    结构鉴定
    物性分析
    原位分析
    样品制备

    设备功能分类-产业支撑

    设备功能分类-产业支撑

    先进材料分析
    当前位置: 首页>> 仪器设备>> 正文

    离子研磨仪

    仪器编号:LHB21030105

    联系方式:15951937007

    放置地点:西湖大学 云谷校区E10-131

    开放范围:校内/校外

    自主操作 送样检测

    实验室:微结构与形貌表征实验室

    职位:

    邮箱: caowenjing@westlake.edu.cn

    仪器编号 LHB21030105 联系方式 15951937007
    放置地点 西湖大学 云谷校区E10-131 开放范围 校内/校外
    自主操作 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.692.reserv 送样检测 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.692.sample
    实验室 微结构与形貌表征实验室 职位
    邮箱 caowenjing@westlake.edu.cn
    • 仪器基本参数
    • 样品要求
    • 收费标准
    • 技术资料
    仪器编号 LHB21030105 规格 IM4000plus
    生产厂家 日立 型号 IM4000plus
    制造国家 日本 分类号 011299
    放置地点 云栖校区4#112 出厂日期 2021/02/24
    购置日期 2021/03/10 入网时间 2021/03/23
    主要规格及技术指标 1离子源:氩气
    2 离子枪数:1个
    3 加速电压:0-6Kv
    4 截面研磨系统:
    4.1加工速度:截面加工500μm/h,6Kv的条件下,Si片,
    4.2样品加工位置精确调整:样品托千分尺调整,精度10μm
    4.3最大样品尺寸:≤20(W)×12(D)×7(H)mm
    4.4样品可移动范围:截面X:±7mm, Y:0~3mm,
    4.5挡板可移动范围:X:±8mm,Y:-3~0mm
    4.6样品摆动角度:截面研磨±15° ±30° ±40°
    4.7样品摆动速度:6°/s, 60°/s
    5平面研磨系统
    5.1平面加工速度:平面加工2um/h(照射角度0°,偏心量4mm,平面) 20μm/h(照射角度60°,偏心量0mm,点)
    5.2偏心量设计:0-5mm
    5.3最大样品尺寸: 50φ×25(H)mm
    5.4样品加工区域:φ5 mm
    5.5样品摆动角度:±60° ±90°
    5.6样品台旋转速度:1r/min,25r/min
    5.7倾斜角度:0-90°
    6冷却系统: 液氮罐容量800CC,最低显示温度-150℃,冷却时间4h

    主要功能及特色 使用低能量Ar离子束,加工无应力损伤的样品截面,为SEM观察样品的内部多层结构、结晶状态、异物解析,层厚测量等提供有效的样品前处理方法。或除去样品表层,加工出低损伤平面。


    最大样品尺寸: 50φ×25(H)mm



    类型

    项目

    细则

    校内收费

    校外收费

    说明

    自主上机

    平面/截面加工

    需预约并经过培训和考核

    180/小时

    /

    截面加工需增加挡板耗材费,250/样区

    委托测试

    平面/截面加工

    /

    250/小时

    360/小时

    培训

    仪器培训

    一对一/一对二培训;

    250/小时

    /

    /



    技术资料:离子研磨仪标准操作流程

    /EMS150TSlizijianshedumoyijianyaocaozuoguichengV3-20210207.pdf



    版权所有 © 西湖大学浙ICP备16029590号

    您是第:位访客

    Baidu
    map