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仪器设备

    设备功能分类-科技支撑

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    高低温探针电学/光电测量系统(I-V/C-V/脉冲电学测试)

    仪器编号:20106106-9016

    联系方式:18680367989

    放置地点:云谷校区学术环E10-138

    开放范围:校内/校外

    自主操作 送样检测

    实验室:综合物性分析实验室

    职位:无

    邮箱:yangzhen@westlake.edu.cn

    仪器编号 20106106-9016 联系方式 18680367989
    放置地点 云谷校区学术环E10-138 开放范围 校内/校外
    自主操作 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.809.records 送样检测 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.809.sample
    实验室 综合物性分析实验室 职位
    邮箱 yangzhen@westlake.edu.cn
    • 仪器设备信息
    • 技术资料
    • 收费标准
    仪器编号 20106106-9016 规格 Summit1100B-M&B1500A&Axioscope
    生产厂家 德国 型号
    制造国家 德国 分类号 010899
    放置地点 云谷校区学术环E10-138 出厂日期 2022/10/12
    购置日期 2022/05/20 入网时间 2022/10/12
    主要规格及技术指标 "一、探针台
    1.探针台满足8英寸低噪声晶圆直流测试,温度范围-60-300℃;
    2.探针台配置4个直流探针座+2个射频探针座, X/Y/Z移动范围:不低于12.5mm*12.5mm*12.5mm,精度不低于 100TPI(250um/turn)
    3.具备3同轴载物台(≥8in.能兼容6in.和4in.晶圆),X-Y 轴行程:≥203mm*203mm,θ方向:转动角度范围+/-5.5°;
    4.载物台漏电:≤15fA@温控系统关闭;≤20fA@25℃ ;
    5.磁吸三轴转换连接面板: 两个 ;
    6.其他:配备数码电子显微镜,内置双CCD;放大倍率50倍到500倍连续可变;并具备Top-Hat盖帽板,保证良好的电磁与光屏蔽的精密量测环境,保证fA级测试精度;光强衰减大于120dB
    二、B1500A
    1、最大吸收电流:4.2 A。
    2、高功率SMU模块:a.电压范围:±200 V;b.电流范围:±1 A;c.电压测量分辨率:2uV;d.电流测量分辨率:10 fA。
    3、高精度SMU模块:a.电压范围:±100 V;b.电流范围:±100 mA;c.电压测量分辨率:0.5 uV;d.电流测量分辨率:1 fA。
    4、配有一个电容电压测试模块:a.频率范围:1 KHz~5 MHz;b.偏置电压范围:±25 V;c.测量精度:0.2 %。
    5、脉冲发生模块:a.最小脉冲宽度:50ns;b.重复频率:0.1 Hz~33 MHz;c.上升时间:15 ns;d.脉冲发生器电压范围:±40 V。
    6、配有一个任意波形发生测量模块:a.最小输出脉冲宽度:50 ns;b.最小测量脉冲宽度:145ns;c.快速脉冲电压范围:±10 V;d.快速脉冲电流范围:±10 mA;e.示波器功能采样速度:5 ns。
    7、配有电压扩展模块,可将偏置电压扩展到±100V,并且实现IV/CV自动切换功能。
    8、配有电压模块和脉冲模块的切换模块。
    三、显微镜
    1.正置照相显微镜,配置LED光源和HXP荧光光源,光路采用无限远轴向及径向双重色差校正及反差增强型光路系统。
    2.物镜转盘:6孔及以上带编码明暗场DIC物镜转盘,各物镜在切换时齐焦同轴,配有透/反射光明场、高级暗场、C-DIC、偏光、荧光和相衬观察方式;其中荧光滤块:10号绿色荧光带通滤块、20号Rhodamin荧光带通滤块、49号DAPI荧光带通滤块
    3.10X宽视野三目镜筒,视场数≥23mm。
    4.机械载物台行程:X方向不低于75mm,Y方向不低于50mm.
    5.套制冷型CCD相机,600W像素。"
    主要功能及特色 可以进行常温和变温(-60-300℃)条件下的 IV、CV、脉冲/动态 I-V 等参数测量。 主机和插入式模块能够表征大多数电子器件、材料、半导体和有源/无源元器件。可以在 CV 和 IV 测量之间快速切换,无需重新连接线缆。能够捕获其他传统测试仪器无法捕获的超快速瞬态现象。能够检测 1 kHz 至 5 MHz 范围内的多频交流电容测量值。HV-SPGU可生成电压高达 ± 40 V、脉宽最小 10 ns 的脉冲– 先进输出电压监测功能可监测脉宽最小 5 µs 的脉冲信号,WGFMU可编程分辨率达到 10 ns 的波形生成功能– 能够同时执行高速 IV 测量(200 Msa/s, 5 ns 采样间隔)。配置两个专用光波探针, 单模, 适用波长范围:1300nm~1550nm。


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    类型

    项目

    细则

    校内

    校外

    说明

    自主上机

    全温区范围内的I-VC-V测量

    以装样、拆样时间点为计时点;需预约并经过培训和考核后自主上机操作

    240/

    /

    /

    委托测试

    全温区范围内的I-VC-V测量

    以装样、拆样时间点为计时点

    350/

    450/

    委托测试请提供明确测试需求及条件;实验参数摸索或特殊实验条件准备计入测试时间内

    培训

    基础/高阶培训

    一对一/一对二培训培训;同等内容的第二次培训,收费1.5

    400//

    /

    需熟练掌握基础测试培训后开放高阶培训

    注:

    1)用户需承担耗材费和操作不当产生的所有费用,若探针被样品污染/损坏,需自行回购;

    (2)变温测试中压缩空气吹扫及变温/复温时间计入有效机时。


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