XY 方向最大扫描范围:100 * 100μm Z 方向最大扫描范围:12μm 系统 XY 方向闭环噪音水平:150pm 系统 Z 方向闭环噪音水平:35pm 样品台直径:200mm 样品台移动范围 200 *300mm 导电测试:电流范围:1pA-20nA,精度:1pA SCM 模式:横向分辨率<20nm,电容灵敏度<1aF,载流子浓度测试范围: 1*1015~1*1020 高压模式:电压范围:0-150V,兼容所有的 PFM 模式。 纳米拉伸台:最大拉力值 80N,力学分辨率 0.2N,拉伸精度 500μm。 外加磁场模块:水平方向 0-8000oe,垂直方向 0-1200oe,分辨率 10oe 外加光场模块:从样品底部引入外加光场垂直照射样品,通过 0.5``直径光纤引入, 样品上的最大光强为光纤光强的 1/2 |