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仪器设备

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    扫描电镜阴极荧光联用系统(SEM-CL)

    仪器编号:20106900

    联系方式:15951937007

    放置地点:云谷校区E10-131

    开放范围:自主上机:校内;送样测试:校内外

    自主操作 送样检测

    实验室:物质科学公共实验平台 微结构与形貌表征实验室

    职位:

    邮箱:caowenjing@westlake.edu.cn

    仪器编号 20106900 联系方式 15951937007
    放置地点 云谷校区E10-131 开放范围 自主上机:校内;送样测试:校内外
    自主操作 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.939.reserv 送样检测 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.939.sample
    实验室 物质科学公共实验平台 微结构与形貌表征实验室 职位
    邮箱 caowenjing@westlake.edu.cn
    • 仪器设备信息
    • 收费标准
    仪器编号 20106900 规格
    生产厂家 日立 型号 SU8600/Monnac Pro
    制造国家 日本 分类号
    放置地点 E10-131 出厂日期 2023/12/05
    购置日期 2023/10/23 入网时间 2023/11/20
    主要规格及技术指标 高分辨冷场发射扫描电镜主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统),检测器包括Upper和Lower两个二次电子探测器,背散射电子检测器。另外,配备CL检测器(GATAN,Monarc Pro)、无窗能谱仪(牛津,Ultim Max100)。
    一、SE分辨率:0.6nm@15Kv(工作距离4mm);0.7nm@1Kv(工作距离1.5mm,减速模式)
    二、BSE分辨率:3nm@15Kv(工作距离8mm)
    三、能谱仪能量分辨率:Mn分辨率优于127eV;F分辨率优于64Kv;C分辨率优于56eV。
    四、CL光谱分辨率:优于0.2nm(12001p/mm光栅,P标准样品)。最高取谱速度:6000s/s。光谱探测范围PMT:185-980nm。光谱探测范围CCD:200nm-1100nm。分光光路狭缝可调范围:0.01mm-10mm。

    The high-resolution cold-field emission scanning electron microscope host (including vacuum system, electron-optical system, detector system), the detector includes two secondary electron detectors, Upper and Lower, and a backscattered electron detector. In addition, it is equipped with a CL detector (GATAN, Monarc Pro), a windowless spectrometer (Oxford, Ultim Max100).
    1. SE resolution: 0.6nm@15Kv (working distance 4mm); 0.7nm@1Kv (working distance 1.5mm, deceleration mode)
    2. BSE resolution: 3nm@15Kv (working distance 8mm)
    3. energy resolution of energy spectrometer: Mn resolution better than 127eV; F resolution is better than 64Kv; C resolution is better than 56eV.
    4. CL spectral resolution: better than 0.2 nm (12001p/mm grating, P standard sample). Maximum score acquisition speed: 6000s/s. Spectral detection range PMT: 185-980nm. Spectral detection range CCD: 200nm-1100nm. Adjustable range of splitting optical path slit: 0.01mm-10mm



    主要功能及特色 1、二次电子形貌、背散射电子形貌;
    2、阴极荧光成像;
    3、能谱分析。
    可对样品进行表面形貌观察、在亚微米及纳米空间分辨率下获得与物质的成分、杂质、结构、缺陷等相关的丰富研究信息。

    (1) Secondary electron topography and backscattered electron topography; (2) Cathode fluorescence imaging ;
    (3) Energy spectrum analysis
    The surface topography of the sample can be observed, and a wealth of research information related to the composition, impurities, structure, and defects of the substance can be obtained at sub-micron and nanometer spatial resolution.




    类型

    项目

    细则

    校内

    校外

    说明

    自主上机

    自主操作

    需预约并经过培训和考核

    350/

    /

    /

    委托测试

    形貌观察、元素分析

    形貌成像、BSD成像、EDS分析(谱峰、线扫、面扫)

    180/样或500/

    235/样或700/


    1.每个样品限时20min,超出后将按照实际机时收费;

    CL

    CL成像及谱图采集

    500/

    700/


    镀金

    镀层为Au 5nm

    60/次或6/nm

    100/

    1.SEM镀膜,按次收费;

    2.镀电极,按厚度收费(限校内用户);

    3.不接受单独送样。

    镀铂

    镀层为Pt 3-5nm

    镀碳

    镀层为5nm

    培训

    仪器培训

    一对一/一对二培训;同等内容的第二次培训,收费1.5

    500/

    /

    /



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