| 主要规格及技术指标 |
1.快速扫描成像时：
X,Y扫描范围： 10μm
闭环噪音<60pm（Adev,0.1Hz-1kHz）
Z轴扫描范围>2μm;
系统高度噪音< 15pm（Adev,1Hz-1kHz）;
扫描线速度：最高1250Hz；
2.正常速度扫描成像时：
X,Y轴扫描范围：30μm；
闭环噪音<60pm
Z轴扫描范围>5μm;
系统高度噪音<15pm
1. Fast scan imaging:
X,Y scanning range: 10μm
Closed-loop noise < 60pm (Adev,0.1Hz-1kHz)
Z-axis scanning range > 2μm;
Z system noise< 15pm (Adev,1Hz-1kHz);
Scanning line speed: up to 1250Hz;
2. Normal speed scanning imaging:
X,Y scanning range: 30μm;
Closed-loop noise < 60pm
Z-axis scanning range >5μm
Z system noise< 15pm
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