6月17日,材料电镜实验室举办“物质科学公共实验平台专题讲座——透射电镜制样技术介绍”午餐会,主讲人为上海微纳国际贸易有限公司应用工程师余子健博士,重点就平台已投入运行的透射电镜制样系统(包括微束定点精修系统、全自动离子减薄仪、电解双喷仪、凹坑仪、线切割机)相关设备的配置、使用技巧、应用案例等方面进行了详细介绍。本次报告现场约30余人参与,线上约6人,对于目前校内在透射电镜制样技术方面遇到的问题和感兴趣的方向进行了充分的交流和讨论。
微束定点精修系统(Fischione, Model1040)是一款专门为FIB制备的透射电镜样品进行后处理的设备,使用低能Ar+等离子体对薄片样品进行精修,可以去除FIB制样引入的非晶层、解决Ga+注入问题,制备超薄透射样品,进而可以获得更高质量的透射电镜测试数据。
在自动化的聚焦离子束电镜制样技术基础上,平台配备了自动离子减薄仪(Fischione, Model1051)、电解双喷仪(Fischione, Model110)、凹坑仪(Fischione, Model200)、线切割机(Precision Wire Saw WS-25)、精研一体机(Leica EM TXP),形成了一套完备的手动制样系统,是对FIB制样的重要补充。
主讲人介绍:余子健,上海微纳国际贸易有限公司应用工程师,博士毕业于澳大利亚悉尼大学,在澳大利亚显微中心(ACMM)以及南京理工大学进行金属材料研究,相关成果发表于Acta Materialia, Wear等期刊。具有近六年扫描电镜、透射电镜、聚焦离子束、以及原子探针样品制备、仪器操作以及数据分析经验。