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聚焦离子束-电子束双束电镜(FIB-SEM)-飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)联用系统原理及应用介绍

时间:2023-12-08 作者:林杨剑 点击:

西湖大学物质科学公共实验平台于2023年初投入运行了一套聚焦离子束-电子束双束电镜-飞行时间二次离子质谱联用系统(FIB-SEM TOF-SIMS),这对于透射电镜样品的加工、观察、分析至关重要,主要功能和特色有(1)超高分辨率的电镜适合多种试样的极限观察。(2)超高分辨率的FIB可以进行精确的试样加工,尤适合制备定区域TEM薄片。(3)配备cryostage,可进行离子束敏感样品的低温TEM样品制备。(4)配备quickloader和手套箱,可实现空气敏感样品的惰性气氛保护传样。(5)TOF-SIMS具有高的空间分辨率、高的Z方向分辨率,非常适合薄膜分析、ppm级的元素分析和同位素分析。(6)可实现TOF-SIMS、EDS、SEM三维重构分析。


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