相关设备：
高低温探针电学/光电测量系统(I-V/C-V/脉冲电学测试)https://iscps.westlake.edu.cn/info/1024/1993.htm
低温探针电学测量系统(半导体参数分析/介电/铁电/光电等)https://iscps.westlake.edu.cn/info/1024/1207.htm
仪器放置地点：云谷校区学术环E10-138电学实验室
近年来信息数据呈爆炸式增长，这对用于信息存储、运算、传输的半导体器件提出了更高的要求，半导体技术也是我国‘卡脖子’技术之一，科学家正在不断地挖掘新材料、构建新器件，以期达到器件小型化、低功耗、高速度的目标。器件研发过程中，其电学性能表征是重要的一环，因此西湖大学物质科学平台（ISCPS）构建了电学测试实验室，利用多种探针台和测试仪表可实现不同温度下半导体参数、介电、铁电、光电等测试分析。加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。
半导体分析中最基础的就是伏安特性（I-V）的表征，如何实现fA级（10-15A）超低电流测试是一个系统化的工作，我们做了以下总结，希望对您的测量和分析有帮助。
